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S10043

Abstract: S8552
Contextual Info: PHOTODIODE Siフォトダイオード S10043 高信頼性VUV検出用フォトダイオード S10043は高出力ArFエキシマレーザ 193 nm を正確に安定して検出するためのSiフォトダイオードです。新規開発した極 薄PN接合と高信頼性を実現した極薄金属膜の形成技術を組み合わせることで、1 kJ/cm2のArFエキシマレーザ照射後でも感度